Назначение: исследование топографии поверхности материалов, локального определения элементного состава, распределения элементов по поверхности объекта на микро- и наноуровне.
Характеристики
Диапазон ускоряющего напряжения: 3-30 кВ
Разрешающая способность: 5 нм
Увеличение: 10 – 160 000 крат
Перемещение образца: - наклон от -15° до +60°
- по оси Z 22 мм
- по оси X 20 мм
- по оси Y 20 мм
Анализируемые элементы: от фтора до урана
Предел обнаружения: 0,2 масс.%
Предельная точность определения концентрации: ~ 5%
Пространственное разрешение при микроанализе: 1,0×1,0×5,0 мкм.
