Имеющиеся приборы:
Оже-микрозонд JAMP-10S (JEOL, Япония)
Физические принципы:
В основе метода Оже - электронной спектроскопии (ОЭС) лежат такие процессы как, ионизация внутренних электронных уровней атома первичным электронным пучком, безизлучательный Оже-переход и выход Оже-электрона в вакуум, где он регистрируется при помощи электронного спектрометра.
Возможности метода ОЭС:
- качественный и количественный анализ состава поверхности и границ зерен с локальностью ~ 50 нм;
- профиль изменения концентрации по глубине (с использованием методики ионного травления или для клиновидных образцов);
- исследование химической связи;
- получение изображений поверхности образца во вторичных, обратнорассеянных и Оже электронах;
- исследование картин каналирования электронов (оценка кристалличности изучаемой поверхности);
- получение изображений в режимах композиционного и топографического кон-трастов;
- топография поверхности;
- исследования поверхности в режиме растрового электронного микроскопа;
Технические характеристики JAMP -10S:
- Диаметр первичного электронного пучка от 25 нм до 100 мкм
- Ток первичного электронного пучка от 10-11 А до 10-5 А
- Увеличение от 45х до 20000х
- Диаметр анализируемой площади от 50 нм до 100 мкм
- Энергетический анализатор электронов - цилиндрическое зеркало
- Диапазон анализируемых энергий от 0 до 3000 эВ
- Энергетическое разрешение энергоанализатора от 0,35 до 1,2 %
- Режимы съемки Оже - спектров N(E) и dN/dE
- Ионное травление (энергия; плотность тока; диаметр пучка) от 0,5 до 5 кэВ; max 2x10-4 А/см2; d = 2 мм
- Вакуум в камере анализа 2x10-8 Па
- Размеры образца (максимальные) d =25 мм x 10 мм
- Глубина анализируемого слоя от 0,5 до 5,0 н
