Сканирующий электронный микроскоп Philips SEM-515
с рентгеновским микроанализатором Genesis 2000 XMS

Назначение: исследование топографии поверхности материалов, локального определения элементного состава, распределения элементов по поверхности объекта на микро- и наноуровне.

Характеристики

• Диапазон ускоряющего напряжения: 3-30 кВ
• Разрешающая способность: 5 нм
• Увеличение: 10 – 160 000 крат
• Перемещение образца:
  - наклон от -15° до +60°
  - по оси Z 22 мм
  - по оси X 20 мм
  - по оси Y 20 мм
• Анализируемые элементы: от фтора до урана
• Предел обнаружения: 0,2 масс.%
• Предельная точность определения концентрации: ~ 5%
• Пространственное разрешение при микроанализе: 1,0×1,0×5,0 мкм.